Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе
Турбомолекулярные вакуумные насосы с активным магнитным подвесом ротора: быстрота от 1280 до 3260 л/с по азоту, входные фланцы DN200, DN250 и DN320, предельное давление до 10⁻⁸ Па. Для водородной нагрузки есть исполнения с повышенной быстротой по H₂. Подбираем насос на замену Edwards, Pfeiffer и Leybold по классу и фланцу и комплектуем сухим форвакуумным насосом. Цена и срок по запросу.
Данные производителя. Быстрота по водороду у турбомолекулярных насосов всегда ниже, чем по азоту: если основная нагрузка — водород, сравнивайте по колонке H₂: исполнения с отметкой «H₂» при том же фланце откачивают водород заметно быстрее.
| Класс | Входной фланец | N₂, л/с | H₂, л/с | Сжатие N₂ / H₂ | Поток N₂, sccm | Обороты, об/мин | Разгон, мин | Масса, кг |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ТМН 1300 л/с | DN200 ISO-F / CF | 1280 | 560 | > 10⁸ / > 10³ | 1100 | 30 000 | ≤ 6 | 51 |
| ТМН 1400 л/с, H₂ | DN200 ISO-F / CF | 1400 | 820 | > 10⁸ / > 10³ | 1200 | 33 000 | ≤ 7 | 51 |
| ТМН 2200 л/с | DN250 ISO-F / CF | 2150 | 850 | > 10⁸ / > 10³ | 1300 | 27 000 | ≤ 8 | 60 |
| ТМН 2400 л/с, H₂ | DN250 ISO-F / CF | 2360 | 1250 | > 10⁸ / > 10³ | 1500 | 30 000 | ≤ 9 | 60 |
| ТМН 3000 л/с | DN320 ISO-F | 2950 | 1100 | > 10⁸ / > 10³ | 2100 | 21 000 | ≤ 9 | 76 |
| ТМН 3300 л/с, H₂ | DN320 ISO-F | 3260 | 1730 | > 10⁸ / > 10³ | 2400 | 24 000 | ≤ 10 | 76 |
Турбомолекулярному насосу нужен форвакуум. Для чистых систем берут сухие спиральные или винтовые насосы: без масла в рабочей полости, значит без обратного потока паров в камеру. Подбираем форвакуумный насос по рекомендации производителя ТМН и по вашей газовой нагрузке и поставляем комплектом.
- исследовательские вакуумные камеры и стенды
- ускорители и физические установки
- масс-спектрометры и электронные микроскопы
- вакуумное напыление и нанесение покрытий
- течеискание и вакуумная металлургия
Частые вопросы
Как выбрать турбомолекулярный насос по быстроте действия?
Смотрите на быстроту по тому газу, который откачиваете. Паспортная цифра обычно дана по азоту, а по водороду и гелию она заметно ниже. Если основная нагрузка — водород, сравнивайте насосы по колонке H₂ в таблице: исполнения с отметкой «H₂» при том же фланце откачивают водород заметно быстрее, а насос с большим фланцем не всегда быстрее по H₂. Пришлите объём камеры, газовую нагрузку, рабочее давление и фланец, подберём сами.
Чем насос на магнитном подвесе лучше насоса на подшипниках?
В рабочем режиме ротор висит в магнитном поле и ничего не касается. Нет смазки, значит нет углеводородов в камере. Нет трения, значит нет регламентной замены подшипников и меньше вибрация. Страховочные подшипники вступают в работу только при аварийной остановке; после жёстких посадок ротора их проверяют и при необходимости меняют. Для чистых процессов и долгой непрерывной работы это главный довод. Насосы на смазке дешевле, но требуют обслуживания.
Можно ли ставить насос рядом с магнитами?
Можно, но с ограничением: по данным производителя внешнее поле не должно превышать 3 мТ в радиальном и 15 мТ в аксиальном направлении. В сильном поле во вращающемся роторе наводятся вихревые токи, он греется. Если поле больше, насос ставят за экран из магнитомягкого материала или выносят на патрубке.
Какой форвакуумный насос нужен?
Производитель рекомендует быстроту форвакуумного насоса не менее 16 л/с для класса DN200, 22 л/с для DN250 и 30 л/с для DN320. Для чистых систем обычно берут сухой спиральный или винтовой насос. Подберём его в комплект к турбомолекулярному.
Можно ли заменить насос Edwards, Pfeiffer или Leybold?
Да, по классу: совпадают входной фланец, быстрота действия и выходной фланец KF40. Контроллер и кабели идут в комплекте с новым насосом, интерфейс управления согласуем под вашу систему. Пришлите модель установленного насоса и условия работы, проверим совместимость до поставки.